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研究内容

新しい有機化合物を用いた窒素系化合物半導体のGas-source MBE成長と，
反応・成長機構の解明(工事中)

低加速集束イオンビームエピタキシーの研究

極微細領域へのマスクレスGaAs，InGaAs選択成長における不純物ドーピングとその評価

極微細領域への窒素系化合物半導体の選択成長

窒素系化合物半導体の選択エピタキシーによる，高品質GaN，InGaN薄膜の形成に関する研究

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Abstract

Published paper

Master thesis

Doctor thesis