装置紹介

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装置紹介


 本研究室では、材料からデバイスの開発までの研究を遂行するため、結晶成長装置から、原子レベルでの結晶評価、電子/光物性の評価、および解析を行うための研究装置や設備を保有しています。
 各装置はEIIRISVBLに設置しており、学生が管理・保守を行っています。

結晶成長装置およびウエハ接合装置

成長置群.jpg
  • 分子線エピタキシー装置
  • 有機金属気相成長装置
  • 表面波プラズマ気相堆積装置
  • 常温ウエハ接合装置

評価装置

評価装置群.jpg
  • フォトルミネッセンス装置(可視、赤外)
  • カソードルミネッセンス装置
  • ホール効果測定装置
  • 原子間力顕微鏡
  • 走査型電子顕微鏡
  • 高分解X線回折装置
  • 反射高速電子線回折装置
  • 分光エリプソメーター
  • プローバーシステム
  • 走査プローブ顕微鏡
  • 導波路評価装置
  • 超伝導マグネット

デバイス製造装置・加工装置

プロセス装置群.jpg
  • 熱酸化炉
  • 反応性イオンエッチング装置
  • 電子ビーム蒸着装置
  • 減圧化学気相堆積装置
  • 高速熱処理装置
  • 両面アライナ
  • レーザダイサー
  • 化学機械研磨装置
  • 集束イオンビーム加工装置
  • イオンミリング装置
Last-modified: 2015-06-26 (金) 17:09:55 (818d)