第42回 集積回路技術講習会

Last updated Feb 06, 2024


 夏休みを利用して、私ども集積電子システム工学分野(旧電子デバイス大講座)は、社会人の方々を対象とした集積回路技術講習会を毎年行っております。

 これは、豊橋技術科学大学が掲げる建学の精神『産学共同』の一環として、実験設備と我々の研究成果を学外の方に利用していただくためのものです。2024年度は下記のスケジュールで講習会を開催を予定しています。

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日時(予定):

2024年7月22日(月)~7月26日(金)の5日間、午前9時~午後7時

場所:

豊橋技術科学大学 ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー (VBL)
固体機能デバイス研究施設 (Electron Device Research Center)

内容:
  1. nMOS集積回路の製作
    • リングオシレータ
    • 4ビットカウンタ
    • インバータ
    • D-Type MOS, E-Type MOS
    • C-V特性評価用MOSダイオード
  2. 特性測定と評価
  3. 講義
    • 「集積回路製造技術の基礎」
    • 「MOS集積回路の基礎と製造技術」
    • 「最新の集積回路(VLSI)技術」
スケジュール:
  集積回路プロセス 講義など
第1日目
  • フィールド酸化
  • レジスト塗布&ホトリソ(I)
  • エッチング&レジスト除去
  • 自己紹介
  • 説明会
  • 講義(I)
第2日目
  • レジスト塗布&プリベーク
  • ホトリソ(II)
  • イオン注入
  • 洗浄
  • ゲート酸化
  • Poly-Si LPCVD
  • 講義(II)
第3日目
  • レジスト塗布&プリベーク
  • ホトリソ(III)
  • RIE
  • SiO2エッチング&レジスト除去
  • 洗浄
  • リン拡散
  • リンガラス除去&洗浄
  • SiO2-CVD
  • 講義(III)
第4日目
  • レジスト塗布&プリベーク
  • ホトリソ(IV)
  • エッチング&レジスト除去
  • レジスト塗布&ホトリソ(IV)'
  • エッチング&レジスト除去
    (上記、エッチング&レジスト除去と同様)
  • Alスパッタ
  • レジスト塗布&プリベーク
  • ホトリソ(V)
  • Alエッチング&レジスト剥離
第5日目
  • 特性チェック
  • 意見交換会
申込み・問合せ先:

ただいま申し込み準備中です。受付開始は2024年4月を予定しています。

申込み締切り:

受付開始までお待ちください

主催:

電気・電子情報工学系

実施担当:
〒441-8580
愛知県豊橋市天伯町雲雀ケ丘1-1
豊橋技術科学大学
電気・電子情報工学系 集積電子システム工学分野, 次世代半導体・センサ科学研究所

澤田 和明, 石川 靖彦,岡田 浩
河野 剛士, 高橋一浩, 関口 寛人,野田 俊彦
山根啓輔,Choi Yong Jonn, Jose Alberto Piedra Lorenzana
飛沢 健, 赤井 大輔, 井出 智也,大学院生


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